磁控溅射钽涂层对碳材料结构及耐腐蚀性能影响
期刊: 《社会发展与科技创新》 DOI:10.64649/yh.shfzykjcx.2026030037 PDF下载 返回期刊
摘要
碳材料凭借低密度、高比强度、优异的耐高温与导电导热性能，在航空航天、能源存储、化工防腐等高端领域应用前景广阔。但其表面易氧化、耐酸碱腐蚀性能薄弱的缺陷，严重限制了实际服役寿命与应用范围。磁控溅射技术作为高效、低温、涂层质量优异的物理气相沉积方法，可在碳材料表面制备致密均匀的钽涂层，实现其耐腐蚀性能的协同提升。本研究综述该钽涂层的制备原理与工艺特点，分析涂层沉积对碳材料表面形貌、晶体结构、界面结合状态的影响，探讨其调控碳材料耐腐蚀性能的作用机制，结合研究现状指出存在的问题与解决策略，为该改性技术的产业化应用与技术创新提供理论支撑与实践参考。
关键词
磁控溅射；钽涂层；碳材料结构；耐腐蚀性能；界面改性
参考文献
[1]赵凡,项燕雄,邹长伟,等.磁控溅射镀膜技术在（Cr,Ti,Al）N涂层上的应用[J].真空,2024,61(04):22-29.
[2]刘铭悦,黄志全,张习羽,等.非平衡磁控溅射CrTiAlN涂层的制备及空蚀性能研究[J].表面技术,2023,52(10):367-375.
[3]王智玉,周浩.温度对建筑用316L钢磁控溅射AlTiCrN涂层组织和热腐蚀的影响[J].真空科学与技术学报,2020,40(11):1029-1033.
[4]黄彪,张而耕,周琼,等.石墨靶溅射时间对Ta-C涂层性能的影响[J].陶瓷学报,2019,40(03):318-324.